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INYECTORES DE GAS OmniGIS - OMNIPROBE
 


Inyector de gas OmniGIS Omniprobe

CARACTERISTICAS

* Inyector de gas líder en la industria

- Aguja única; puerto único; fuente múltiple
- Amplia variedad de fuentes incluyendo sólidos, líquido y gas
- Posicionamiento aguja controlado por motor

* Software gráfico intuitivo

- Elaboración y recuperación de protocolos
- Fuente individual o mezcla
- Control local o remoto para SEM, FIB y sistemas de litografía

* Controlador Multi función

- Vínculo Ethernet autónomo al PC del SEM/FIB
- Control de flujo de gran precisión
- Control adicional de inyectores de gas existentes

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DESCRIPCIÓN
 

OmniGIS™ de Omniprobe es un nuevo sistema de inyección de gas múltiple para FIB o SEM que proporciona un control programable sobre tres fuentes de gas incorporadas y una fuente de gas adicional externa de purga utilizando sólo un puerto GIS.

El usuario puede crear y recuperar complejos procesos de flujo. El OmniGIS™ es compatible tanto con precursores de deposición, tungsteno, platino, óxidos como con productos de etching. Este sistema utiliza crisoles de precursores industriales estándar sólidos o líquidos que el usuario puede cambiar sin tener que realinear el sistema de inyección requerido.

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